Hexafluorethan

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Strukturformel
Struktur von Hexafluorethan
Allgemeines
Name Hexafluorethan
Andere Namen
  • R 116
  • Freon 116
  • Perfluorethan
  • FC-116
Summenformel C2F6
CAS-Nummer 76-16-4
PubChem 6431
Kurzbeschreibung

farbloses geruchloses Gas[1]

Eigenschaften
Molare Masse 138,01 g·mol−1
Aggregatzustand

gasförmig

Dichte

6,25 kg·m−3 (unter Normalbedingungen)[1]

Schmelzpunkt

−101 °C[1]

Siedepunkt

−78,2 °C[1]

Löslichkeit

geringfügig löslich in Wasser[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1]
04 – Gasflasche

Achtung

H- und P-Sätze H: 280
P: 403 [1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.
Vorlage:Infobox Chemikalie/Summenformelsuche vorhanden

Hexafluorethan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Fluorkohlenwasserstoffe und ist als aliphatisches gesättigtes Fluorkohlenwasserstoff ein Perfluorcarbon.

Eigenschaften

In Druckgasflaschen liegt Hexafluorethan als verdichtetes Gas vor. Unter 19,7 °C unter Druck ist es ein verflüssigt vorliegendes Gas. Beim Ausströmen der Flüssigkeit oder beim Entweichen großer Gasmengen bilden sich kalte Nebel, die sich am Boden ausbreiten. Oberhalb von 800 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Fluorwasserstoff, Kohlenstoffmonoxid und Kohlenstoffdioxid entstehen. Der kritische Punkt liegt bei 19,89 °C, 30,39 bar und 0,601 kg·l−1; der Tripelpunkt bei -100,10 °C und 0,26490 bar.[2]

Hexafluorethan besitzt ein Treibhauspotenzial von 9200 und ein Ozonabbaupotential von 0.[1]

Verwendung

Hexafluorethan wird in der Halbleiter-Industrie als Ätzgas und beim Plasmaätzen, sowie zum Reinigen von CVD-Kammern eingesetzt.[3] Es dient weiterhin als Treibgas, gasförmiger Isolierstoff (in aufgeschäumten Stoffen) und als Kältemittel.[4]

Sicherheitshinweise

Hexafluorethan ist schwerer als Luft und in hohen Konzentrationen erstickend.

Einzelnachweise

  1. 1,0 1,1 1,2 1,3 1,4 1,5 1,6 1,7 Eintrag zu CAS-Nr. 76-16-4 in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 10. Oktober 2009 (JavaScript erforderlich)
  2. Helmut Schan: Handbuch der reinsten Gase. Springer, 2005, ISBN 978-3-540-23215-5, S. 307.
  3. Hexafluorethan (airliquide)
  4. R116 (Linde-Gas)

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