Ionenstrahlgestützte Deposition

Die ionenstrahlgestützte Deposition, auch ionenstrahlgestützte Abscheidung, ionenstrahlgestützte Beschichtung oder ionenstrahlgestützte Beschichtungstechnik genannt, (englisch ion beam assisted deposition, IBAD) ist ein Beschichtungsverfahren aus der Gruppe der physikalischen Gasphasenabscheidung. Es wird vorrangig für die Herstellung dünner Schichten eingesetzt. Dies geschieht durch das Abscheiden bei gleichzeitiger Synthese von Metallatomen und Gasen auf Substraten. Dabei werden Metalle über unterschiedliche Methoden verdampft, Gasmoleküle durch Ionenquellen dissoziiert, ionisiert und gleichzeitig einer meist beheizten Substratoberfläche angeboten.Im Gegensatz zu den meisten anderen Abscheidungsmethoden laufen bei der Ionendeposition mit energetischen Ionen von 10 eV bis hin zu 1000 eV die wesentlichen Wachstums- und Phasenbildungsprozesse wenige nm unterhalb der Oberfläche der wachsenden Schicht ab. Auf diese Weise erlaubt das Verfahren die Mikrostruktur, chemische Eigenschaften sowie Texturierung dünner Filme oder auch Beschichtungen schon während des Herstellungsprozesses gezielt zu beeinflussen.

Funktionsweise

Analog zur Molekularstrahlepitaxie wird meistens ein oder mehrere Metalle verdampft und zusätzlich reaktive Gase durch verschiedene Ionenquellen in Atome dissoziiert oder ionisiert bzw. aktiviert. IBAD-Anlagen bestehen zum einen aus einer Beschichtungsstation beispielsweise Effusionszellen, Ionenstrahlsputtern, Magnetronsputtern, Laserablation oder Elektronenstrahlverdampfer, welche für die eigentliche Materialdeposition der Schicht verantwortlich ist. Zusaetzlich wird durch unterschiedliche Ionenquellen wie beispielsweise Kaufmannquellen, Duoplasmatron, Magnetron oder auch Atomstrahlquellen ein Ionen- oder Neutralteilchenstrahl unter geeignetem Winkel auf den aufwachsenden Film gerichtet. Die so erhaltenen Ionen sind auf hyperthermische Energien beschleunigt und haben einen zusätzlichen auf das Substrat gerichteten Impuls. Als Folge der Wechselwirkung einzelner Ionen mit dem Festkörper treten Ordnungsphänomene und Strukturbildungsprozesse auf, die zur Entstehung bestimmter metastabiler Phasen, zur Bildung amorpher oder kristalliner Atomagglomerate und teilweise auch zur Bildung texturierter Schichten führen können. Dies erlaubt die Manipulation der Eigenschaften von Schichten und Beschichtungen, insbesondere im Hinblick auf intrinsische Verspannung, Adhäsion, oberflächenmechanische Eigenschaften, Korrosions- und Oxidationsresistenz sowie optische und elektrische Eigenschaften.

IBAD bietet beispielsweise die Möglichkeit bei einigen Materialien die Kristallitorientierung mit dem Ionenstrahl zu manipulieren, also gezielten Einfluss auf die biaxiale Texturierung[1] der Schicht zu nehmen. Eine Variation des Flussratenverhältnisses[2] zwischen den schichtbildenden Metallatomen und den aus der Ionenquelle extrahierten Ionen, erlaubt es die Schichtzusammensetzung und das chemische Phasenverhältnis kontrolliert einzustellen. Analog zur Molekularstrahlepitaxie kann durch den hohe Energieeintrag der Ionen (10–1000 eV) die Substrattemperatur im Vergleich zur „normalen“ chemische Gasphasenabscheidung stark abgesenkt werden. Dadurch können eine Vielzahl unterschiedlicher Substratmaterialien (z. B. auch temperaturempfindliche Polymere oder Legierungen) mittels IBAD beschichtet werden.

Ein Nachteil dieser Methode ist allerdings gerade diese hohe Ionenenergie, die Strahlungsschäden in den Schichten verursacht[3], die wiederum zu einer Störung der Kristallinität führen und zum Beispiel durch geeignetes nachgeschaltetes Tempern ausgeheilt werden müssen.

Siehe auch

Einzelnachweise

  1.  B. Rauschenbach, J. W. Gerlach: Texture Development in Titanium Nitride Films Grown by Low-Energy Ion Assisted Deposition. In: Crystal Research and Technology. 35, Nr. 6–7, 2000, S. 675–688.
  2.  J. W. Gerlach, D. Schrupp, R. Schwertberger, B. Rauschenbach, A. Anders: Study of Low-Energy Ion Assisted Epitaxy of GaN Films: Influence of the Initial Growth Rate. In: Mat. Res. Soc. Symp. Proc.. 585, 2000, S. 239–244.
  3.  J. W. Gerlach, S. Sienz, W. Attenberger, B. Rauschenbach: Influence of defects in low-energy nitrogen ion beam assisted gallium nitride thin film deposition. In: Physica B: Physics of Condensed Matter. 308, 2001, S. 81–84.

Diese Artikel könnten dir auch gefallen

Die letzten News aus den Naturwissenschaften

01.04.2021
Teilchenphysik
Myon g-2: Kleines Teilchen mit großer Wirkung
Das Myon g-2-Experiment des Fermilab in den USA steht vor einem Sensationsmoment, der die Geschichte der Teilchenphysik neu schreiben könnte.
01.04.2021
Planeten - Elektrodynamik - Strömungsmechanik
Zwei merkwürdige Planeten
Uranus und Neptun habe beide ein völlig schiefes Magnetfeld.
30.03.2021
Kometen_und_Asteroiden
Der erste interstellare Komet könnte der ursprünglichste sein, der je gefunden wurde
Neue Beobachtungen mit dem Very Large Telescope (VLT) der Europäischen Südsternwarte (ESO) deuten darauf hin, dass der abtrünnige Komet 2I/Borisov einer der ursprünglichsten ist, die je beobachtet wurden.
25.04.2021
Raumfahrt - Astrophysik - Teilchenphysik
Erstmals Atominterferometer im Weltraum demonstriert
Atominterferometer erlauben hochpräzise Messungen, indem sie den Wellencharakter von Atomen nutzen.
25.03.2021
Quantenoptik
Sendungsverfolgung für eine Quantenpost
Quantenkommunikation ist abhörsicher, aber bislang nicht besonders effizient.
24.03.2021
Schwarze_Löcher - Elektrodynamik
Astronomen bilden Magnetfelder am Rand des Schwarzen Lochs von M 87 ab
Ein neuer Blick auf das massereiche Objekt im Zentrum der Galaxie M 87 zeigt das Erscheinungsbild in polarisierter Radiostrahlung.
24.03.2021
Astrophysik
Die frühesten Strukturen des Universums
Das extrem junge Universum kann nicht direkt beobachtet werden, lässt sich aber mithilfe mathematischer Theorien rekonstruieren.
23.03.2021
Supernovae - Teilchenphysik
Können Sternhaufen Teilchen höher beschleunigen als Supernovae?
Ein internationales Forschungsteam hat zum ersten Mal gezeigt, dass hochenergetische kosmische Strahlung in der Umgebung massereicher Sterne erzeugt wird. Neue Hinweise gefunden, wie kosmische Strahlung entsteht.
23.03.2021
Teilchenphysik
Neue Resultate stellen physikalische Gesetze in Frage
Forschende der UZH und des CERN haben neue verblüffende Ergebnisse veröffentlicht.
19.03.2021
Festkörperphysik - Teilchenphysik
Elektronen eingegipst
Eine scheinbar einfache Wechselwirkung zwischen Elektronen kann in einem extremen Vielteilchenproblem zu verblüffenden Korrelationen führen.