VUV-Strahlung steht für Vakuumultraviolettstrahlung oder vakuumultraviolette Strahlung und bezeichnet den Spektralbereich elektromagnetischer Strahlung, der im kurzwelligen Bereich an das sogenannte Nahe-UV grenzt. Er verdankt seinen Namen der Tatsache, dass die Strahlung von Luft absorbiert wird und somit eines Vakuums bedarf, um sich auszubreiten. Der Spektralbereich ist nicht genau definiert, da widersprüchliche Definitionen existieren z. B. 10–200 nm[1] oder 100–200 nm[2]. Das kurzwellige Ende des VUV-Spektralbereichs grenzt je nach Definition an den Bereich der EUV-Strahlung, oder an die weiche Röntgenstrahlung.
