Als Siliciumtetrahalogenide (auch Tetrahalogensilane) bezeichnet man Verbindungen des Typs SiX4, wobei X für eines der Halogene Fluor, Chlor, Brom oder Iod steht. Es sind Derivate des Monosilans, wobei alle Wasserstoff-Atome durch Halogene ersetzt sind.
Neben den vier reinen Siliciumtetrahalogeniden
- Siliciumtetrafluorid SiF4,
- Siliciumtetrachlorid SiCl4,
- Siliciumtetrabromid SiBr4,
- Siliciumtetraiodid SiI4
sind auch gemischte Tetrahalogensilane bekannt, wie z. B.
- Dichlordifluorsilan SiCl2F2 oder
- Trichlorfluorsilan SiCl3F.
Im Gegensatz zu ihren Kohlenstoffanaloga, den Halogenkohlenwasserstoffen vom Typ CX4, wie beispielsweise Tetrachlormethan, sind Tetrahalogensilane hochreaktive Verbindungen.
