Kategorie
Größe dieser Vorschau: 400 × 300 Pixel. Weitere Auflösungen: 320 × 240 Pixel | 640 × 480 Pixel | 1.024 × 768 Pixel | 1.280 × 960 Pixel | 2.560 × 1.920 Pixel.
Originaldatei (SVG-Datei, Basisgröße: 400 × 300 Pixel, Dateigröße: 16 KB)
Diese Datei stammt aus Wikimedia Commons und kann von anderen Projekten verwendet werden. Die Beschreibung von deren Dateibeschreibungsseite wird unten angezeigt.
Beschreibung
BeschreibungImmersionlithografie - Verbesserung der Tiefenschärfe.svg |
Deutsch: Schematische Darstellung zur Verbesserung der Abbildungstiefe, d. h., der Bereich in dem der Fokus für eine scharfe Abbildung ausreichend ist, bei der Immersionslithografie im Vergleich zur konventionellen trockenen Fotolithografie. Dabei wird sichtbar, dass bei der Immersionslithografie die gleiche Abbildungstiefe mit einer geringeren Linsenöffnung (= geringere NA der Linse) zu erreichen ist. Im Umkehrschluss bedeutet dies, dass bei Immersionssystemen mit gleicher NA wie ein trockendes System eine größere Abbildungstiefe erreicht wird.
(Beispielbrechzahlen: Luft = 1,0; Wasser = 1,44; Quarzlinse = 1,56; Fotolack = 1,75, vgl. BJ Lin: SPIE PM - 190 - Optical lithography -- Here is why. SPIE Press, 2010, ISBN 978-0819475602, Seite 327) |
Datum | |
Quelle | Eigenes Werk |
Urheber | Cepheiden |
SVG‑Erstellung InfoField |
Lizenz
Ich, der Urheberrechtsinhaber dieses Werkes, veröffentliche es hiermit unter der folgenden Lizenz:
Es ist erlaubt, die Datei unter den Bedingungen der GNU-Lizenz für freie Dokumentation, Version 1.2 oder einer späteren Version, veröffentlicht von der Free Software Foundation, zu kopieren, zu verbreiten und/oder zu modifizieren; es gibt keine unveränderlichen Abschnitte, keinen vorderen und keinen hinteren Umschlagtext.
Der vollständige Text der Lizenz ist im Kapitel GNU-Lizenz für freie Dokumentation verfügbar.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue |
Diese Datei ist unter den Creative-Commons-Lizenzen „Namensnennung – Weitergabe unter gleichen Bedingungen 3.0 nicht portiert“, „2.5 generisch“, „2.0 generisch“ und „1.0 generisch“ lizenziert.
- Dieses Werk darf von dir
- verbreitet werden – vervielfältigt, verbreitet und öffentlich zugänglich gemacht werden
- neu zusammengestellt werden – abgewandelt und bearbeitet werden
- Zu den folgenden Bedingungen:
- Namensnennung – Du musst angemessene Urheber- und Rechteangaben machen, einen Link zur Lizenz beifügen und angeben, ob Änderungen vorgenommen wurden. Diese Angaben dürfen in jeder angemessenen Art und Weise gemacht werden, allerdings nicht so, dass der Eindruck entsteht, der Lizenzgeber unterstütze gerade dich oder deine Nutzung besonders.
- Weitergabe unter gleichen Bedingungen – Wenn du das Material wiedermischst, transformierst oder darauf aufbaust, musst du deine Beiträge unter der gleichen oder einer kompatiblen Lizenz wie das Original verbreiten.
Du darfst es unter einer der obigen Lizenzen deiner Wahl verwenden.
In dieser Datei abgebildete Objekte
Motiv
Einige Werte ohne einen Wikidata-Eintrag
20. Januar 2012
Dateiversionen
Klicke auf einen Zeitpunkt, um diese Version zu laden.
Version vom | Vorschaubild | Maße | Benutzer | Kommentar | |
---|---|---|---|---|---|
aktuell | 12:43, 23. Jan. 2012 | 400 × 300 (16 KB) | wikimediacommons>Cepheiden | small modifications |
Dateiverwendung
Die folgende Seite verwendet diese Datei: