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Aluminiumdotiertes Zinkoxid (AZO oder ZAO) ist ein transparenter Oxidhalbleiter, der vor allem als Ersatz für Indiumzinnoxid in der LCD-, TFT- und Halbleiterbranche Verwendung findet. In ein Kristallgitter aus Zink- und Sauerstoffatomen sind Aluminiumatome eindotiert, wodurch die Leitfähigkeit erhöht wird.[1][2]
Es hat die CAS-Nummer 37275-76-6 oder 12068-53-0.
Weblinks
- Annealing Effects on Contact Properties of Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films doi:10.1142/S0217979202009780
- Hagen Klauk, Jiunn-Ru Huang, Jonathan A Nichols, Thomas N Jackson: Ion-beam-deposited ultrathin transparent metal contacts. In: Thin Solid Films, Vol. 366, 2000, S. 272–278 doi:10.1016/S0040-6090(00)00728-8
