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| Beschreibung |
English: Scheme of anodic bonding procedure. The top tool works as a cathode and the chunk as anode. The process parameter are bond voltage UB, current limitation IB and bond temperature TB.
Deutsch: Schematische Darstellung des anodischen Bondprozesses. Die Prozessparameter sind die Bondspannung UB, die Strombegrenzung IB und die Bondtemperatur TB. |
| Quelle | S. Mack, Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodischer verbundener Festkörper (1997) |
| Urheber | Fraunhofer ENAS, D. Neumann |
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|---|---|---|---|---|---|
| aktuell | 11:49, 10. Apr. 2011 | | 978 × 408 (17 KB) | wikimediacommons>Enaswiki | {{Information |Description ={{en|1=Scheme of anodic bonding procedure. The top tool works as a cathode and the chunk as anode. The process parameter are bond voltage U<sub>B</sub>, current limitation I<sub>B</sub> and bond temperature T<sub>B</sub>.}} |
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